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三氟化氮NF3
三氟化氮（nitrogen trifluoride），是一種無機(jī)化合物，化學(xué)式NF3，常溫常壓下為無色氣體，不溶于水，是一種強(qiáng)氧化劑，是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，還可用作高能燃料。
CAS 編號(hào)
7783-54-2
UN 編號(hào)
2451
EINECS 編號(hào)
7783-54-2
分子量
71.0019
外觀
無色、無味
熔點(diǎn)
-206.79℃
沸點(diǎn)
-129.0℃
密度
2.96kg/m3
DOT 類
2.2 & 5.1
標(biāo)簽
不可燃?xì)怏w、氧化劑
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包裝規(guī)格
鋼瓶規(guī)格 | 含量 | |
鋼瓶容量 | 閥門 | 重量 |
10L | DISS640 | 4kg |
47L | DISS640 | 20kg |
440L | DISS640 | 195kg |
電子級(jí)三氟化氮99.99%
規(guī)格 | 99.99% |
四氟化碳 | ≤40 ppm |
氮?dú)?/p> | ≤10 ppm |
氧氣+氬氣 | ≤5 ppm |
一氧化碳 | ≤1 ppm |
二氧化碳 | ≤3 ppm |
一氧化二氮 | ≤3 ppm |
六氟化硫 | ≤3 ppm |
水分 | ≤1 ppm |
氟化氫 | ≤1 ppm |
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