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地址:上海市浦東新區(qū)高橋鎮(zhèn)江東路1716號(hào)1幢二層209室
包裝規(guī)格
| 鋼瓶規(guī)格 | 含量 | |
| 鋼瓶容量 | 閥門(mén) | 重量 |
| 47L | DISS632 | 10kg |
| 440L | DISS632 | 120kg |
電子級(jí)硅烷99.9999%
| 規(guī)格 | 99.9999% |
| 一氧化碳 | ≤ 0.05 ppm |
| 二氧化碳 | ≤ 0.05 ppm |
| 總氯化物 | ≤ 0.1 ppm |
| 甲烷 | ≤ 0.05 ppm |
| C2-C4 | ≤ 0.1 ppm |
| 氮?dú)?/td> | ≤ 0.5 ppm |
| 氧氣 | ≤ 0.05 ppm |
| 水分 | ≤ 0.1 ppm |
| 硅基乙醚 | ≤ 0.1 ppm |
| 甲基硅烷 | ≤ 0.1 ppm |
| 乙硅烷 | ≤ 0.3 ppm |
| 氫氣 | ≤ 20 ppm |
| 鋁 | ≤ 0.02 ppba |
| 銻 | ≤ 0.02 ppba |
| 砷 | ≤ 0.02 ppba |
| 鎵 | ≤ 0.02 ppba |
| 硼 | ≤ 0.02 ppba |
| 磷 | ≤ 0.02 ppba |
| 鐵+鉻+鎳+銅+鋅 | ≤ 1 ppba |
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