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砷烷AsH3
砷烷用于半導(dǎo)體工業(yè)中,如外延硅的N型摻雜、硅中N型擴(kuò)散、離子注入、生長(zhǎng)砷化鎵(GaAs)、磷砷化鎵(GaAsP)以及與某些元素形成化合物半導(dǎo)體。用于有機(jī)合成、軍用毒氣,及應(yīng)用于科研或某些特殊實(shí)驗(yàn)中。
化學(xué)式
AsH3
分子量
77.93
CAS 號(hào)
7784-42-1
EINECS 號(hào)
232-066-3
熔點(diǎn)
-116℃
沸點(diǎn)
-62℃
相對(duì)密度
1.689
外觀
無(wú)色氣體,有大蒜臭味
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